Ekipman debaz nan PR Netwayaj Liy Pwodiksyon Otomatik pou Fabricant LCD Display
Liy pwodiksyon otomatik netwayaj PR (photoresist) la se yon ekipman debaz pwosesis mouye nan fabrikasyon ekspozisyon LCD. Yo itilize li prensipalman apre pwosesis fotolitografi sou substra etalaj la pou retire fotorezistan rezidyèl, rezidi gravure, ak mikwo-kontaminan sifas yo. Li se ekipman enpòtan pou asire presizyon sikwi panèl ak amelyore sede pwodwi. Li pafètman adapte nan anviwònman pwodiksyon sevè nan yon chanm pwòp Klas 100, li reyalize gwo -presizyon, otomatik, ak polisyon-gratis fèmen-operasyon netwayaj bouk fèmen.
Vize rezidi fotolit pozitif ak negatif apre pwosesis fotolitografi a, li itilize yon netwayaj ultrasons milti-etap + pwosesis rense dlo pi bon kalite pou retire pwofondman debri, kontaminan òganik, patikil pousyè, ak lòt enpurte ki rete apre fotolitografi grave. Li ka byen retire résidus mikwoskopik anba a 0.5μm, anpeche domaj tankou sikui louvri panèl, tach klere, ak tach Mura ki te koze pa enpurte. Konbine ak yon sistèm filtraj presizyon 0.1μm segondè -, li anpeche kontaminasyon segondè. Li reyalize bon jan, domaj-gratis retire, evite enpak la nan kouch adezif rezidyèl sou pwosesis grave ak kouch ki vin apre yo, ak yon pousantaj pwoteksyon retire nan 100%.
Konstwi -nan modil kontwòl elektwostatik ESD kontwole estrikteman valè elektwostatik la nan yon seri mwens pase oswa egal a ± 100V. Konbine ak kavite anti-materyèl estatik la ak ki pa-kontak mayetik wou livrezon teknoloji, li evite egzeyat elektwostatik nan domaje sikwi presizyon panèl la, pandan y ap tou anpeche reyur, chipping, ak jenerasyon pousyè nan friksyon sou substra an vè, konsa maksimize pwoteksyon an nan entegrite substra a.
Segondè ak ba tanperati konstan tanperati chanm tès
Nwayo a nan netwayaj otomatik ak siye ekipman liy pwodiksyon an pou manifaktirè ekran LCD entegre yon mòd siye doub: koupe kouto lè ak konstan -tanperati lè cho siye. Sa a byen vit retire tach dlo nan sifas substra a, sa ki fè filigrane-gratis ak tras-gratis seche. Apre siye, kontni imidite sifas substra a apwoche zewo, sa ki pèmèt transfè dirèk nan pwochen pwosesis la san pwosesis segondè, asire kontinwite pwosesis. Yon sistèm kontwòl PLC pèmèt operasyon bouk fèmen-konplètman otomatik pou chaje, pwezante, netwaye ak dechaje. Li sipòte siveyans an tan reyèl ak fonksyon alam pou ajisteman konsantrasyon solisyon netwayaj, tanperati, imidite, ak pwòpte. Chanm sele a ak konsepsyon presyon negatif gradyan anpeche flit gaz chimik. Konbine ak anviwònman presyon pozitif nan yon chanm pwòp Klas 100, li pèmèt tou resiklaj dlo ultrapure ak klasifikasyon ak rekiperasyon likid fatra, satisfè toude kondisyon enèji -ekonomize ak pwoteksyon anviwònman an.
Konpare ak netwayaj manyèl tradisyonèl yo, liy pwodiksyon netwayaj PR konplètman otomatize gen avantaj iranplasabl: efikasite netwayaj ogmante pa plis pase 3 fwa, epi prèske 10,000 substrats vè ka trete pou chak chanjman, siyifikativman diminye sik pwosesis la; konsistans netwayaj la ekselan, byen retire mikwo-résid ki pi piti pase 0.5μm, kontwole pousantaj defo panèl la nan 0.5PPM, efektivman evite domaj tankou tach klere, tach nwa, ak kraze sikwi sou ekran an; ekipman an adopte yon konsepsyon ekonomize dlo -ekonomize enèji-, ak yon gwo pousantaj rekiperasyon dlo pi ak koleksyon dlo ize klase ak tretman, satisfè kondisyon pwodiksyon pwoteksyon anviwònman an; se machin nan antye te fè nan korozyon -PVC rezistan ak SUS304 Nerjaveèi, ak sele fò, netwayaj fasil ak antretyen, e li apwopriye pou 24-èdtan operasyon kontinyèl nan cleanrooms, vin tounen ekipman estanda pou manifaktirè ekran LCD yo bati liy pwodwi-wo fen ak amelyore konpetitivite debaz.
Ekipman debaz nan atelye fotolitografi nan manifaktirè ekspozisyon LCD
Ekipman ekspoze a se ekipman debaz nan atelye fotolitografi a ak yon zòn pwosesis kle nan pwosesis fabrikasyon LCD etalaj la. Konnen tou kòm yon machin litografi panèl, li se yon gwo -presizyon optik pwosesis mouye aparèy. Fonksyon prensipal li se transfere modèl konsepsyon sikwi substrate la sou yon substra vè ki kouvwi ak fotorezist atravè ekspoze optik, ki enpòtan anpil pou fòmasyon mikwo-sikwi nan panèl la. Transfè egzak nan modèl sikwi a soti nan fotomask la nan substra an vè se avantou pou gravure ki vin apre, kouch, ak pwosesis netwayaj PR, dirèkteman detèmine bon jan kalite a nan ekran an ekspozisyon. Ekipman an sèvi ak yon pwosesis ekspoze ki pa -kontak, apwopriye pou gwo -gwosè, mens substra vè LCD, evite reyur substra, domaj, ak kontaminasyon.
Pwen esansyèl teknolojik debaz yo gen ladan yon sistèm aliyman wo-presizyon ak nivo micron-nivo oswa menm sub-mikwon-nivo presizyon kouvri, asire zewo dezayaj nan anpile sikwi milti-kouch ak erè kontwole nan kèk milyèm nan dyamèt yon cheve; itilizasyon yon sous limyè ekspoze inifòm ak teknoloji konsantre dinamik reyalize fluctuations enèji ekspoze nan<±3% on large-size substrates of several square meters, guaranteeing pattern consistency; a vacuum adsorption substrate platform to effectively suppress substrate deformation and improve exposure pass rate; and a PLC intelligent control system to achieve fully automated substrate loading, pre-alignment, exposure, and unloading, supporting online parameter monitoring, anomaly alarms, and data traceability, suitable for 24-hour continuous mass production.
Tout atelye a sèvi ak yon sous limyè jòn monokwomatik 589nm, ki konplètman filtre limyè kout -tankou limyè iltravyolèt, ble, ak blan, anpeche reyon sa yo deklanche reyaksyon fotochimik prematire nan fotorezist la, sa ki lakòz domaj fatal tankou dezayaj modèl, liy enkonplè, sikwi kout, ak sikwi louvri. Sistèm ekleraj la sèvi ak yon konbinezon de LED jòn dedye ak filtè doub -kouch pou anpeche flit limyè ki pèdi; pòt, fenèt ak fenèt obsèvasyon yo ekipe ak materyèl filtre anti-iltravyolèt; telefòn mobil yo, kamera, gwo-flèch ki mache ak lòt sous limyè ekstèn yo entèdi entèdi anndan atelye a, epi tout -kontwòl disiplin limyè nan zòn nan aplike pou elimine risk pou ekspoze twò bonè nan fotorezist nan sous la.
Entwodiksyon nan Klas 100 Cleanrooms pou manifakti LCD Display
Nan domèn fabrikasyon LCD ki gen gwo -presizyon, chanm pwòp Klas 100 (ISO Klas 5 chanm pwòp) se etablisman pwodiksyon debaz la ak yon endikatè kle nan fòs teknik yon manifakti ak pwodiksyon pwodwi. Yo lajman itilize nan etap pwosesis debaz tankou etalaj, asanble selil, ak anbalaj modil pa dirijan konpayi ekspozisyon tankou BOE, TCL CSOT, HKC, ak Tianma. Sal pwòp sa yo gen estanda pwòpte sevè, ki pa gen plis pase 100 patikil pousyè ki sispann Ki pi gran pase oswa egal a 0.5μm an dyamèt pou chak pye kib lè (mwens pase oswa egal a 3520 pou chak mèt kib). Nivo pwòpte sa a byen lwen depase sa ki nan sal operasyon medikal yo, sèvi kòm yon "baryè difisil" pou anpeche pousyè, elektrisite estatik, ak kontaminan chimik entèfere ak pwosesis presizyon. Li se yon eleman pyès ki nan konpitè debaz ki detèmine dirèkteman kalite imaj ekran an, dire lavi, ak pousantaj sede.
Atelye a fèt ak bati estrikteman an akò ak estanda ISO entènasyonal ak domestik. Li adopte yon mòd koule lè vètikal inidireksyon, makonnen ak yon sistèm filtraj ULPA kat-etap (filtre pre-, filtre efikasite mwayen, filtè efikasite segondè, filtre efikasite segondè, ak filtè efikasite ultra-segondè-), reyalize yon efikasite filtraj ki rive jiska 999999999999999999999999999999999999999999999. epi elimine zòn ki mouri koule lè yo. Ansanm, egzak kontwòl anviwònman an reyalize nan tout dimansyon: yon tanperati konstan nan 23±1 degre, imidite relatif kontwole nan 45% -55%, yon eta presyon pozitif kenbe nan zòn nan pwòp, ak yon diferans presyon pi gran pase oswa egal a 10Pa ant zòn adjasan, konplètman anpeche enfiltrasyon nan pousyè ekstèn; Lè nou konsidere sansiblite panno ekspozisyon yo nan domaj elektwostatik, yo itilize planche anti-epoksidik estatik pwòp tèt ou- nivelman, ak 304 asye pur ak plak asye koulè cleanroom yo itilize pou mi ak plafon, ak kontwòl strik sou valè elektrisite estatik pandan tout pwosesis la; yo bay plis kontwòl pou molekilè-nivo VOC polyan chimik ak entèferans inaktif tankou mikwo-vibrasyon, satisfè kondisyon yo nan pwosesis nanokal tankou fotolitografi, depo fim mens, ak piki kristal likid.
Atelye a adopte yon konsepsyon dekoupaj zòn pwòp chanm pwòp, divize an yon zòn debaz Klas 100, yon zòn tanpon Klas 1000, ak yon zòn oksilyè Klas 10,000, ak kouch anpeche kwa-kontaminasyon, ak pèsonèl ak liy transpò materyèl otomatik yo konplètman separe. Anplwaye yo dwe sibi yon pwosesis trip pou chanje rad, douch lè, ak deteksyon elektwostatik, epi yo ka antre sèlman apre yo fin mete yon kostim plen-tout chanm pwòp kò a, gan san pousyè-, ak linèt; materyèl yo transfere nan fenèt transfè anklanche ak sibi pousyè ak tretman pou retire elektrisite estatik; enteryè a ekipe ak hotte koule laminè FFU, kontè patikil sou entènèt, detèktè tanperati ak imidite, monitè presyon diferans, ak lòt ekipman pou reyalize siveyans 24-èdtan an tan reyèl ak trasabilite done, epi li pral imedyatman bay avètisman epi fè ajisteman nan ka ta gen endikatè nòmal asire estabilite kontinyèl nan anviwònman an.
